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微電子

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  在微電子制造領域,等離子清洗機被廣泛應用于多個環節。例如,在晶圓制造過程中,等離子清洗可以有效去除光刻膠殘留和金屬雜質,提高芯片的電性能和可靠性;在封裝測試階段,等離子清洗可以去除引線框架和封裝材料表面的氧化物和污染物,提高封裝的密封性和穩定性。此外,在MEMS(微機電系統)和納米技術等前沿領域,等離子清洗技術也發揮著重要作用。

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